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渐变带隙的铟镓砷材料的制备方法

发布时间：2008--0-8-

一种渐变铟镓砷材料的外延制备方法，包括如下步骤：(1)在衬底上外延生长一层磷化铟或砷化镓缓冲层；(2)在缓冲层上外延生长一层下波导层；(3)在下波导层上外延生长渐变铟镓砷有源层；(4)接着在渐变铟镓砷有源层上生长上不掺杂波导层；(5)在不掺杂波导层生长上波导盖层；(6)最后生长接触层，完成材料的制备。


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