|
|
含有不饱和二羧酸和亚乙基脲的半导体用洗涤液组合物和洗涤方法 |
|
|
|
|
发布时间：2009--0-3- |
|
| 本发明的课题在于提供含有不饱和二羧酸和亚乙基脲的半导体用洗涤液组合物和洗涤方法。本发明通过提供下述组合物而解决了上述课题，即，一种组合物，其是在半导体晶片的加工工艺中为了洗涤残留物而使用的组合物，所述组合物含有不饱和二羧酸和亚乙基脲作为必须成分。在不饱和二羧酸中，特别优选马来酸。优选的该组合物含有不饱和二羧酸、亚乙基脲、除不饱和二羧酸以外的至少1种其他有机羧酸、除亚乙基脲以外的至少1种其他碱性化合物，和水。另外，在该优选的该组合物中，作为任意成分，可以加入选自有机溶剂、螯合剂、表面活性剂以及膦酸和/或次磷酸中的至少1种物质。 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
| 浙江网盛科技股份有限公司对中国化工网上刊登之所有信息不声明或保证其内容之正确性或可靠性；您于此接受并承认信赖任何信息所生之风险应自行承担。浙江网盛科技股份有限公司，有权但无此义务，改善或更正所刊登信息任何部分之错误或疏失。 |
|
 |
|
|
