物理气相沉积制备大面积氧化锌纳米线膜层的方法 _科研资讯_化工专家技术

物理气相沉积制备大面积氧化锌纳米线膜层的方法

发布时间：2009--0-6-

本发明属于低维纳米材料制备的一种物理气相沉积制备大面积氧化锌纳米线膜层的方法，该方法是将氧化锌粉末放置在管式炉中，在气体保护氛围中加热至氧化锌的反应温度，不需加任何催化剂，保温半小时以上，自然冷却，最后在衬底硅片上生成纳米量级的膜层，得到大面积分布均匀、高纯度的产品。本方法实验设备成本低、制作工艺容易掌握，是无环境污染的一种好方法。


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