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发布时间：2009--1-1- |
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| 本发明公开了一种立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法，以克服卧式工艺中的问题，生产大尺寸、大直径的石英玻璃锭，并提高沉积效率，降低生产能耗。其主要设计一种立式沉积炉，包括烟囱，炉体，沉积砣面，燃烧器，基础杆及车床，所述炉体为封闭式炉体，其顶部设有燃烧器，所述基础杆立置于所述炉体内，其上设有一沉积砣面，所述沉积砣面与所述燃烧器下料管相对设置，所述基础杆下端与所述车床卡接，燃烧器可以设置多个，单一燃烧器可以设多个下料管。用本发明方法，可以生产重量达30-50公斤，直径在250-500毫米的石英玻璃锭，沉积速率可达200-500克/小时，生产效率较卧式沉积炉提高1-5倍。 |
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