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感光性倍半氧硅烷树脂

发布时间：2010--0-6-

本发明涉及一种适合作为光阻剂的倍半氧硅烷树脂，其具有改良的微影特性(例如抗蚀刻性、透明性、分辨率、感光度、焦距范围、线边缘粗糙度和粘附力)；涉及一种用于将氟化或非氟化官能团结合于倍半氧硅烷主链上的方法。本发明的倍半氧硅烷树脂具有通式结构(HSiO_3/2)_a(RSiO_3/2)_b，其中：R 是酸可解离基团，a值为0.2至0.9且b值为0.1至0.8并且0.9≤a+b≤1.0。


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