一种减小光阻粗糙的方法，至少包括：提供具有凹槽并位于底材上的光阻；填补凹槽直至凹槽为附加材料所填补；移除位于光阻表面上及底材上的附加材料；处理附加材料借以增强附加材料与光阻间的附着性。并且，当附加材料的填补可以精确到只有凹槽被填补时，可以省略移除部份附加材料的步骤；当附加材料与光阻的附着性良好时，可以省略处理光阻以增强附着性的步骤。

主权项
权利要求书 1.一种减小光阻粗糙的方法，其特征在于，至少包括：提供一光阻，所述光阻至少具有一凹槽；和填补所述凹槽，使所述凹槽为一附加材料所填补。