提供一种将埋入材料向通孔中填充时，埋入性和平坦性都优异的保护膜形成用材料，其特征是：含有有机溶剂和至少具有2个以上的脂环结构的化合物。另外，作为上述化合物，可以是从螺环烃化合物、二环单萜烯化合物、金刚烷化合物和甾类化合物中选出的至少一种。

主权项

权利要求书 1、一种保护膜形成用材料，其特征是，含有有机溶剂、和至少具有2个以上的脂环结构的化合物。