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发布时间：2007--1-0- |
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| 本发明涉及一种制备三氟化氮气体的工艺方法及设备，电解槽中的阳极电解气通过管道进入压力平衡罐，从压力平衡罐出来的气体通过调节阀进入一个低压罐，从低压罐出来的气体通过管道进入低温冷却塔，进行去除阳极电解气中的NH4F及HF等高沸点杂质，经过低温冷却塔去除了高沸点杂质后的NF3气体通过管道进入超低温冷阱进行液化、收集，并采用对冷阱抽真空的办法去除其中的低沸点杂质如N2、O2，当超低温冷阱中收集、液化NF3气体后，对超低温冷阱升温，将NF3气体蒸馏压入粗品NF3气体储罐中，电解槽阳极的材料是高纯度镍。它具有NF3气体纯度高、设备简单、操作简便、设备运行安全、可连续生产、成本低的优点。 |
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