该成果利用多晶硅生产中的中间产品三氯氢硅，采用连续法生产γ2，反应中通过温度梯度控制，使反应物进行分步取代，减少了聚合物的形成和产品中氯离子的聚集，产品稳定性得到了进一步提高。该新工艺较传统的间歇液相法减少了一道操作工序，易于实现自动控制和规模化生产。该工艺主系统采用负压操作，有利于副产物氯化氢的吸收，既防止了环境污染又提高了经济效益。
完成单位 洛阳单晶硅有限任公司
