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用于氮化铝衬底的无铅厚膜导体浆料组合物
发布时间:2007--1-2-
一种用于氮化铝衬底的无铅厚膜导体浆料组合物,用于集成电路制造。其特征在于导体浆料由50~80wt%的导电粉,1~15wt.%的无铅硼硅酸钡钙系玻璃粉,余量为有机媒介物组成。硼硅酸钡钙系玻璃粉的组分含量为(wt%):SiO2 10~30,B2O3 15~50,CaO 15~45,BaO 10~30。Al2O3 1~5,K2O 1~5,Na2O 1~10或再外加0.5CuO或TiO2。有机媒介物是由1~20(wt%)有机粘合剂和80~90(wt%)有机溶剂组成的。本发明特点是具有不含铅,由其制作的厚膜导体层表面电阻低,与氮化铝陶瓷衬底粘附力强等优点,适用于厚膜集成电路。

 

 
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