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四氟化碳相关信息

中文名称 四氟化碳
英文名称 carbon tetrafluoride
中文别名 四氟甲烷
CAS RN 75-73-0
EINECS号 200-896-5
分 子 式 CF4
分 子 量 88
危险品标志
风险术语
安全术语 S38;
物化性质
用　　途 用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂
四氟化碳
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