详细信息
执行标准：HG/T 4509—2013。
工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级。
EL级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造，以及作为生产其 他高纯氟化物的原料；
UP级：主要用于线宽为0.8-1.2μm集成电路的清洗与蚀刻；
UP-S级：主要用于线宽为0.2～0.6μm集成电路的清洗与蚀刻；
UP-SS级：主要用于线宽为0.09～0.2μm集成电路的清洗与蚀刻。
- 包装：槽车、吨桶、塑料桶
- 产品规格：EL UP UP-S UP-SS UP-SSS
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